近日，由我校能源材料化学研究院执行院长张凡教授作为主要负责人承担的2023年“稀土新材料”国家重点研发计划“集成电路制造用纳米稀土抛光材料制备基础研究”项目正式获得了科技部的批准。该项目由复旦大学牵头，联合内蒙古大学、包头天骄清美稀土抛光粉有限公司等国内知名高校、企业单位共同申报。这是能源材料化学研究院自建院以来科研项目申报的重要里程碑。

集成电路是现代化产业体系的核心枢纽，关系国家安全和中国式现代化进程。随着半导体制程节点不断缩小，对半导体表面平整度的要求也不断提升。化学机械抛光CMP是实现集成电路全局平坦化的唯一工艺。CMP工艺中最核心的消耗品-抛光液正处在“卡脖子”的关键节点，集成电路制造自主创新体系是其破解关键。本项目基于新的材料，发展新的抛光体系，形成具有我国自主知识产权的专利群，产品对标行业头部公司，争取接近、达到并赶超对应产品的技术指标。打破国外公司对集成电路超精密抛光材料领域的技术垄断，分享高性能抛光的市场份额。

此次项目申报成功打开了能源材料化学研究院与各联合申报单位深度合作的大门，并以此次项目为契机，在我国北疆建设一支具有国际影响力的“面向集成电路抛光应用的稀土纳米氧化铈”研究团队，开拓稀土材料应用研究新方向，争取为我国集成电路抛光领域向高端智能化方向发展注入新动能。

（供稿：能源材料化学研究院   编辑：李文娟   审核：刘雪峰  王烨辉）